传感器

MEMS SENSOR

MSPR系列

测量范围:0kPa~7kPa…100MPa

具有表压、绝压和密封表压形式

恒流/恒压供电

隔离式结构,适用于多种流体介质

Φ19mm标准OEM压力敏感元件

全不锈钢316L材质

宽温度补偿范围-10℃~80℃

长期稳定性可达±0.1%FS/年

产品详情

产品特点

  • 多样化的封装

    MSPR系列压力传感器为硅压阻精密压力传感器,采用模块化设计,具有多种封装类型可供选择(DIP型、 SOP型、SIP型),可满足客户不同安装环境的需要。
  • 更大范围温度补偿

    通过算法开发和大数据优化,解决更宽温度范围的精确补偿问题,专用ASIC芯片进行温度补偿。
  • 低电压键合技术

    开发低电压硅玻璃静电键合技术,解决硅-玻璃静电键合时因芯片薄膜厚度降低因其的高击穿风险性。

应用领域

  • 呼吸机
  • 制氧机
  • 监护仪
  • 电子血压计
  • 胎压计
  • 转向助力
  • 刹车助力
  • 气泵
  • 真空泵
  • 压力仪表

规格参数

产品型号 测量原理 封装 测量范围 工作温度 温度补偿 测量精度 支持封装
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C - 20°C~85°C +0.25 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP
MSPR- -0250MB 表压 陶瓷 0~ 250 mbar -20~85C 0~50C +1 %FS DIP/SOP/SIP